Portfolio technologii CERN: Cienkie powłoki NEG dla lepszej wydajności próżni

Eksperci CERN dysponują dużą wiedzą specjalistyczną w zakresie różnych technik powlekania cienkowarstwowego używanego do wytwarzania wysokiej i ultra-wysokiej próżni, szczególności powłok cienkowarstwowych z nieodparowalnym getterem (ang. Non-Evaporable Getter  – NEG). Powłoki NEG wytwarza się przez napylanie stopu kilku wybranych metali na ścianę komory próżniowej. Po aktywacji przez ogrzewanie, NEG reaguje chemicznie w celu zmniejszenia ilości gazu w komorze próżniowej.

W ramach współpracy z przemysłem specjaliści z Europejskiej Organizacji Badań Jądrowych mogą zapewnić doradztwo, szkolenie i licencjonowanie w zakresie stosowania technik do nakładania powłok NEG, które są własnością CERN. Mogą one tyczyć szczególnie:

  • produkcji cienkich warstw NEG,
  • przygotowywania celów rozpylania,
  • powlekania komór próżniowych,
  • monitorowania aktywacji powłok NEG przez XPS,
  • pomiaru wydajności próżniowej powłok NEG,
  • wykorzystywania oprogramowania MolFlow do obliczeń próżniowych i profili grubości cienkich warstw (więcej o MolFlow+, systemie pozwalającym obliczyć ciśnienie w dowolnej złożonej geometrii, gdy spełnione są warunki ultra wysokiej próżni, można przeczytać tutaj: MOLFLOW WEBSITE)

 

Technologie tworzenia cienkich powłok dla lepszej wydajności próżni od CERN można zastosować w:

  • ulepszeniach lub stworzenie innowacyjnych pomp,
  • lampach elektronowych i katodowych,
  • izolacji termicznej próżniowej w wysokiej temperaturze (zastosowania słoneczne),
  • elementach próżniowych dowolnego typu (półfabrykaty, mieszki, krzyże, trójniki, przejścia) w celu zastąpienia lub uzupełnienia pomp innych typów,
  • mikroelektronice,
  • izolacji termicznej próżniowej w niskiej temperaturze.

 

Więcej informacji o technologii i jej aplikacjach można przeczytać na astronie Knowledge Tranfer Group CERN.